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刘凯鹏

作品数：65 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 26个电子电信
  • 24个机械工程
  • 24个理学
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  • 18个文化科学
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  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
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主题

  • 27个光刻
  • 26个衍射
  • 26个超分辨
  • 25个等离子体
  • 25个光学
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  • 10个等离子体激元
  • 10个电磁
  • 10个电磁结构

机构

  • 27个中国科学院
  • 3个中国科学院研...
  • 1个吉林大学
  • 1个《光电工程》...

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 15个国家重点基础...
  • 5个中国博士后科...
  • 5个国家重点实验...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个四川省科技支...
  • 3个国家杰出青年...
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传媒

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  • 7个光学学报
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  • 5个光电子．激光
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  • 2个光电子技术
  • 2个微细加工技术
  • 2个半导体光电
  • 2个光学与光电技...

地区

  • 27个四川省
共 27 条 记 录，以下是 1-10
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵泽宇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 表面等离子体 掩模 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王长涛
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玲
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯沁
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗云飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 多层膜 表面等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘尧
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 超分辨 湿法腐蚀 线宽 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 承片台 掩模版 表面等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢卉
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 湿法腐蚀 干法刻蚀 膜层 线宽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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