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严先蔚
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6
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东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
秦明
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章彬
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朱珂
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孟为民
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黄庆安
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 风速风向传感器 微电子机械系统 无源无线 微机电系统
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秦明
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研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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章彬
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研究主题:微谐振器 微电子机械系统 品质因子 化学气相淀积 金刚石薄膜
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孟为民
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研究主题:MEMS 微电子机械系统 系统模拟 设计方法 CAD
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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张昭勇
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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朱珂
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研究主题:微电子机械系统 磁芯 MEMS CAD 悬臂梁
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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