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茹华一
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
周常河
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯吉军
中国科学院上海光学精密机械研究...
王博
中国科学院上海光学精密机械研究...
张妍妍
中国科学院上海光学精密机械研究...
王顺权
中国科学院上海光学精密机械研究...
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周常河
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
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冯吉军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:刻蚀深度 透射 光栅 熔融石英 电子束直写
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王博
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:刻蚀深度 电子束直写 光学全息 纳米 石英
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张妍妍
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射效率 波长 纳米 光栅 光刻工艺
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王顺权
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:熔融 感应耦合等离子体 熔融石英 光栅 深刻蚀
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查贵根
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光治疗机 消烟 激光电源 枪托 波长
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戴恩文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 超短脉冲 非线性晶体 合成孔径激光成像雷达 分束器
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江森华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光治疗机 激光系统 激光电源 划片 开关系统
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王伟
供职机构:中国科学院近代物理研究所
研究主题:分子动力学 加速器质谱 探测器 高电荷态离子 抑制剂
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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