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胡金春
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212
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H指数:7
供职机构:
清华大学
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国家自然科学基金
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
张鸣
清华大学机械工程学院精密仪器与...
尹文生
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学
杨开明
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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尹文生
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构:清华大学
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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穆海华
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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刘召
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 激光干涉仪 大行程 激光干涉
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