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李欣

作品数：126 被引量：176H指数：7
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陈震宇
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴林
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杨
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宗哲
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 气浮 垂向 伺服机构 三轴气浮台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
强盛
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：物理仿真 三轴气浮台 质心 气浮 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马晔
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：三轴气浮台 质心 物理仿真 实验台 气浮台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周乃新
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：物理仿真 气浮台 三轴气浮台 质心 空间模拟器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付振宪
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：气浮台 惯导平台 物理仿真 三轴气浮台 质心
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伟峰
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：质心 光刻机 物理仿真 调平 三轴气浮台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范文超
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 伺服机构 垂向 线性电机 物理仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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