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张福民
作品数:
15
被引量:26
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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合作作者
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
柳襄怀
中国科学院上海微系统与信息技术...
张继华
中国科学院上海微系统与信息技术...
于伟东
中国科学院上海微系统与信息技术...
邹世昌
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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张继华
供职机构:电子科技大学
研究主题:射频磁控溅射 BST 铁电薄膜 介电性能 基片
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供职机构
所获资助
研究领域
于伟东
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:碳纳米管 场发射 过渡金属催化剂 微结构 场发射性能
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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孙义林
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子源 离子注入 离子束 溅射 离子束辅助沉积
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茅东升
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 场发射显示器 非晶金刚石薄膜 金刚石 性能研究
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冯涛
供职机构:华东师范大学
研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射
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所获资助
研究领域
李琼
供职机构:华东师范大学
研究主题:场发射显示器 硅 碳纳米管 场发射阵列 冷阴极
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供职机构
所获资助
研究领域
李炜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:场发射显示器 金刚石薄膜 非晶金刚石薄膜 类金刚石薄膜 光致发光
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