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张有为
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
程新红
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐大伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
俞跃辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
夏超
中国科学院上海微系统与信息技术...
谢晓明
中国科学院上海微系统与信息技术...
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程新红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 功率器件 栅结构 击穿电压 石墨烯
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徐大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 栅极 光刻胶 金属
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夏超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 金属 离子注入 漂移
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俞跃辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
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谢晓明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 SQUID 磁传感器 读出电路 超导
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王浩敏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 衬底 六方氮化硼 电极 图形化
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王中健
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 石墨烯 介质薄膜 离子注入 漂移
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杨喜超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 原子层沉积 氧化剂 高温退火 高温炉
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何大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI ESD保护器件 高介电常数 高压功率器件 栅极
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刘晓宇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电子束曝光 石墨烯 图形化 超导 场效应器件
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