2024年11月30日
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刘渝珍
作品数:
21
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H指数:5
供职机构:
中国科学院研究生院
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国家自然科学基金
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合作作者
石万全
中国科学院研究生院
刘世祥
首都师范大学
韩一琴
中国科学院
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
董立军
中国科学院微电子研究所
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石万全
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:硅 离子注入 氮化硅 LPCVD 氮化硅薄膜
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刘世祥
供职机构:中国科学技术大学研究生院
研究主题:LPCVD 氮化硅薄膜 氮化硅 可见光发射 室温
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韩一琴
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:多晶硅薄膜 微晶硅薄膜 热丝 热丝化学气相沉积 LPCVD
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董立军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 氮化硅薄膜 红外焦平面阵列 纳米孔 MEMS
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所获资助
研究领域
陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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刘金龙
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:太阳电池 氮化硅 硅 半导体薄膜技术 PECVD
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姚德成
供职机构:中国科学院大学
研究主题:单光子 镁 氢原子 激光诱导 密码学
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王小波
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:A-SI H 光致发光 PL X
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赵玲莉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:LPCVD X射线光刻 氮化硅 氮化硅薄膜 可见光发射
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孙宝银
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 LPCVD X射线光刻 氮化硅 可见光发射
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