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中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
吕杭炳
中国科学院微电子研究所
张培文
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
刘琦
中国科学院微电子研究所
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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吕杭炳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电阻 选通 微电子
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张培文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:扩散炉 硅电池 硅 硅太阳能电池 电极
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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刘琦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电路 电阻 非挥发性
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刘宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 衬底 突触 铁磁 光刻胶
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 光刻胶 金属氧化物 干法刻蚀 纳米级
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张凯平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 光刻胶 磁隧道结 干法刻蚀 纳米级
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罗庆
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 存储器 铁电 选通 铁电存储器
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胡媛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 存储器 硅衬底 非挥发性存储器 非易失存储器
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