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殷丽
作品数:
2
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H指数:1
供职机构:
中国航天北京微电子技术研究所
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电子电信
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合作作者
王传敏
中国航天北京微电子技术研究所
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王传敏
供职机构:中国航天北京微电子技术研究所
研究主题:SIC 沟槽 低导通电阻 工艺参 刻蚀
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