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殷丽

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:中国航天北京微电子技术研究所更多>>
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王传敏
供职机构:中国航天北京微电子技术研究所
研究主题:SIC 沟槽 低导通电阻 工艺参 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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