您的位置： 专家智库 > >

李兆泽

作品数：15 被引量：78H指数：6
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺理学更多>>

合作作者

领域

  • 17个机械工程
  • 17个电子电信
  • 16个理学
  • 15个自动化与计算...
  • 10个金属学及工艺
  • 8个一般工业技术
  • 8个文化科学
  • 7个航空宇航科学...
  • 6个化学工程
  • 6个电气工程
  • 6个交通运输工程
  • 5个医药卫生
  • 5个兵器科学与技...
  • 3个环境科学与工...
  • 3个核科学技术
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个建筑科学
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个军事

主题

  • 16个光学
  • 15个光刻
  • 15个光束
  • 14个衍射
  • 14个激光
  • 13个透镜
  • 13个图像
  • 13个偏振
  • 13个光学元件
  • 12个调制器
  • 12个衍射光学
  • 12个衍射光学元件
  • 12个偏振光
  • 12个光调制器
  • 11个入射
  • 11个透镜阵列
  • 11个微透镜
  • 11个微透镜阵列
  • 11个空间光调制器
  • 9个等离子体

机构

  • 13个中国科学院上...
  • 9个中国科学院大...
  • 7个国防科学技术...
  • 4个国防科技大学
  • 3个中国科学院
  • 3个中国科学院研...
  • 1个长春理工大学
  • 1个长沙电力学院
  • 1个军事医学科学...
  • 1个四川大学
  • 1个中北大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中南大学
  • 1个中国科学院金...
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 14个国家自然科学...
  • 11个国家科技重大...
  • 8个国际科技合作...
  • 7个上海市自然科...
  • 6个国家高技术研...
  • 6个上海市科技人...
  • 4个国防科技技术...
  • 4个国防科技重点...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个国防科技大学...
  • 4个教育部“新世...
  • 4个上海市国际科...
  • 4个应用光学国家...
  • 3个湖南省自然科...
  • 3个上海市青年科...
  • 3个武器装备预研...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个国家部委资助...
  • 2个国防基础科研...
  • 2个上海市科委纳...

传媒

  • 12个光学学报
  • 11个中国激光
  • 10个物理学报
  • 10个激光与光电子...
  • 7个光学精密工程
  • 7个光子学报
  • 6个仪器仪表学报
  • 5个国防科技大学...
  • 5个第十五届全国...
  • 4个光电子．激光
  • 4个机械工程学报
  • 4个计量学报
  • 4个中国机械工程
  • 4个强激光与粒子...
  • 4个机械设计与制...
  • 4个光电工程
  • 4个光学仪器
  • 3个自动化学报
  • 3个光学技术
  • 3个机械设计与研...

地区

  • 13个上海市
  • 6个湖南省
共 19 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐超
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：改性层 光顺 NIP MEMS 微推进器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李圣怡
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：超精密 离子束 光学镜面 面形误差 光学零件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴一帆
供职机构：国防科学技术大学
研究主题：面形误差 磁流变抛光 离子束 光学零件 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0