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张福安
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中国科学院电工研究所
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
顾文琪
中国科学院电工研究所
薛虹
中国科学院电工研究所
王理明
中国科学院电工研究所
彭开武
中国科学院电工研究所
靳鹏云
中国科学院电工研究所
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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王理明
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 DY 电子束曝光 机械结构
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彭开武
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:透射电镜 电子束曝光 聚焦离子束 缩小投影电子束曝光 电子束曝光机
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靳鹏云
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束 图形发生器 SEM 扫描电子显微镜
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张今朝
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束曝光机 图形发生器 软件系统 图形文件格式
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吴桂君
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:缩小投影电子束曝光 微细加工 电子束曝光 透射电镜 掩模
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武丰煜
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 亚微米 电子束曝光 半导体器件 电子光学
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刘浩
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 动态可重构 拓扑 电池系统 S-
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史强
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:高能 信号检测 模拟软件 电子束曝光 电子束
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