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刘民

作品数：34 被引量：29H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 34 条 记 录，以下是 1-10
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
左国民
供职机构：中国人民解放军防化指挥工程学院
研究主题：降解研究 悬臂梁 芥子气 TPD 降解
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘剑
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 悬臂 激励线圈 微机械传感器 驱动线圈
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许鹏程
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鲲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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