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冯沁
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中国科学院光电技术研究所
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国家重点基础研究发展计划
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合作作者
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
赵泽宇
中国科学院光电技术研究所
黄成
中国科学院光电技术研究所
刘玲
中国科学院光电技术研究所
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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赵泽宇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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黄成
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 多层膜 超分辨 沟槽 天线
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刘玲
供职机构:中国科学院光电技术研究所
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刘凯鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
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杨磊磊
供职机构:中国科学院光电技术研究所
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陶兴
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:衍射 超分辨 多层膜 光刻 金属
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崔建华
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:沟槽 天线 金属板 介质加载 掩模
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王彦钦
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 衍射 表面等离子体 光刻 掩模
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