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付鹏

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 7个光刻
  • 4个氧化层
  • 4个重掺杂
  • 4个离子
  • 4个离子注入
  • 4个光刻胶
  • 4个硅片
  • 4个硅片表面
  • 4个剥落
  • 4个超薄
  • 4个超薄氧化
  • 4个超薄氧化层
  • 3个电镀
  • 3个电镀铜
  • 3个电流
  • 3个电流电压
  • 3个电流电压表
  • 3个电压
  • 3个电压表
  • 3个镀铜

机构

  • 7个中国航天科技...

地区

  • 7个陕西省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
利阳
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪小军
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宁
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思申
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙有民
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翔
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 绝缘工艺 芯片面积 绝缘层 SOI衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
单光宝
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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