您的位置： 专家智库 > >

邢嶶

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 6个机械工程
  • 6个电子电信
  • 6个理学
  • 5个自动化与计算...
  • 5个一般工业技术
  • 5个文化科学
  • 4个生物学
  • 3个经济管理
  • 3个动力工程及工...
  • 3个电气工程
  • 3个轻工技术与工...
  • 2个金属学及工艺
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个自然科学总论
  • 1个农业科学

主题

  • 6个电子束
  • 6个电子束加工
  • 6个掩模
  • 6个衍射
  • 5个等离子体
  • 5个电机
  • 5个电子束曝光
  • 5个电子束曝光机
  • 5个调焦
  • 5个双光栅
  • 4个等离子体波
  • 4个电机轴
  • 4个电子束曝光系...
  • 4个调制
  • 4个叠栅条纹
  • 3个大行程
  • 3个导数
  • 3个底面对准
  • 2个待机
  • 2个待机状态

机构

  • 6个中国科学院
  • 4个中国科学院研...
  • 1个电子科技大学
  • 1个西南科技大学

资助

  • 6个国家高技术研...
  • 6个国家自然科学...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个成都市科技攻...
  • 2个中国科学院“...
  • 2个中国科学院西...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个四川省教育厅...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个四川省教育厅...
  • 1个四川省科技支...
  • 1个国防科工局核...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个四川省杰出青...
  • 1个四川省科技计...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 6个光学学报
  • 6个微纳电子技术
  • 5个四川大学学报...
  • 5个光电工程
  • 5个电子工业专用...
  • 4个激光与光电子...
  • 4个中国激光
  • 4个微细加工技术
  • 3个现代科学仪器
  • 3个电子技术应用
  • 3个光子学报
  • 3个第十二届全国...
  • 3个2013‘全...
  • 3个2010(第...
  • 2个中国仪器仪表
  • 2个红外与激光工...
  • 2个半导体技术
  • 2个制造业自动化
  • 2个制造技术与机...
  • 2个机械设计与制...

地区

  • 6个四川省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋文波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像系统 位相型 光刻 纳米光刻 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0