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胡正军
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上海集成电路研发中心
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周炜捷
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陈寿面
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李铭
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赵宇航
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周炜捷
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
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姚嫦娲
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研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
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赵宇航
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研究主题:图像传感器 像元 光敏元件 CMOS影像传感器 CMOS图像传感器
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陈寿面
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研究主题:晶体管 光刻 像元 电极 图像
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黄仁东
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
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王伟军
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研究主题:刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
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林宏
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
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钟旻
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研究主题:存储器单元 沟道 相变材料 相变 底电极
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周伟
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:CMOS图像传感器 光电二极管 漏极 分频器 晶体管
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