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陈晖
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浙江大学航空航天学院流体传动及控制国家重点实验室
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傅新
浙江大学航空航天学院流体传动及...
陈文昱
浙江大学航空航天学院流体传动及...
赵金余
浙江大学航空航天学院流体传动及...
陈颖
浙江大学航空航天学院流体传动及...
巴静
浙江大学航空航天学院流体传动及...
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傅新
供职机构:浙江大学
研究主题:光刻机 浸没 光刻系统 气穴 流场
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陈文昱
供职机构:浙江大学
研究主题:光刻机 浸没 光刻系统 回收 投影物镜
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赵金余
供职机构:浙江大学航空航天学院流体传动及控制国家重点实验室
研究主题:浸没式光刻 光刻机 流场可视化 PIV 计算流体动力学
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巴静
供职机构:浙江大学
研究主题:PLC通信 安全操作 分布式控制系统 控制系统 控制模块
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陈颖
供职机构:浙江大学航空航天学院流体传动及控制国家重点实验室
研究主题:光刻机 控制系统 GUI SOCKET 轴承检测
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阮晓东
供职机构:浙江大学
研究主题:磁悬浮 血泵 转子 核主泵 浸没
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