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贾玉斌
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北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
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合作作者
郝一龙
北京大学微电子学研究院
董海峰
北京大学微电子学研究院
张嵘
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李玉璋
中国科学院半导体研究所
陈良惠
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
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董海峰
供职机构:北京大学
研究主题:阳极键合 加速度计 玻璃衬底 电极 微机电系统
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张嵘
供职机构:清华大学
研究主题:微机械 微机械陀螺 转子 MEMS 微机电系统
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李玉璋
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:发光二极管 高亮度 ALGAINP 半导体激光器 白光
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陈良惠
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:半导体激光器 光子晶体 激光器 垂直腔面发射激光器 量子阱激光器
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钟莹
供职机构:天津大学
研究主题:微机电系统 谐振器 表面等离激元 体硅工艺 金属纳米颗粒
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康寿万
供职机构:北方交通大学理学院物理系
研究主题:波导 非线性 非线性介质 平板波导 介质波导
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张文栋
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 加速度计 电容式 微机械
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庄婉如
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:激光器 半导体激光器 砷化镓 GAAS/GAALAS 光开关
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沈三民
供职机构:北京大学
研究主题:差分式 玻璃衬底 阳极键合 加速度计 微型隧道
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