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罗江波
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上海交通大学
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化学工程
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合作作者
丁桂甫
上海交通大学
汪红
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孙云娜
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廖哲勋
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鹿雯
上海交通大学
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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孙云娜
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 工质 子层 高深宽比
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廖哲勋
供职机构:上海交通大学
研究主题:微细加工工艺 微针 方腔 反应离子刻蚀 反应离子
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供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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罗晨晨
供职机构:上海交通大学
研究主题:方腔 反应离子刻蚀 反应离子 麦克风 微细加工工艺
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鹿雯
供职机构:上海交通大学
研究主题:复合介质 TSV 封装 互连线 湿法工艺
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陈丹丹
供职机构:上海交通大学
研究主题:空调系统 冷水机组 优化控制 负荷优化分配 COP
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王艳
供职机构:上海交通大学
研究主题:金属 散热器 宗白华 惯性开关 工质
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牛迪
供职机构:上海交通大学
研究主题:高温 TSV 高温合金 高深宽比 干膜
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