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王长涛

作品数：209 被引量：56H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
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赵泽宇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 表面等离子体 衍射 掩模
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王彦钦
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 衍射 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玲
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 光刻 超分辨 湿法腐蚀 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄成
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 多层膜 超分辨 沟槽 天线
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冯沁
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 多层膜 膜层 湿法腐蚀
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刘凯鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 膜层 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨磊磊
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：多层膜 光刻 超分辨 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶兴
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 超分辨 多层膜 光刻 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡承刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
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