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王永斌
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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文化科学
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合作作者
陈波
沈阳芯源微电子设备有限公司
陈焱
沈阳芯源微电子设备有限公司
谷德君
沈阳芯源微电子设备有限公司
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谷德君
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
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陈波
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研究主题:硅片 保护装置 薄片状 旋转轴 旋转盘
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陈焱
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研究主题:掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
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