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5 条 记 录,以下是 1-5
吴艳红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SN 晶圆级封装 气密封装 凝固技术 等温凝固
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王立春
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气密封装 微机械 凸点 料封 微机械传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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