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李莉
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2
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴艳红
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
王立春
中国科学院上海微系统与信息技术...
罗乐
中国科学院上海微系统与信息技术...
焦继伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
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吴艳红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SN 晶圆级封装 气密封装 凝固技术 等温凝固
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供职机构
所获资助
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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供职机构
所获资助
研究领域
罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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供职机构
所获资助
研究领域
王立春
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气密封装 微机械 凸点 料封 微机械传感器
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