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李无瑕
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中国科学院物理研究所
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电子电信
一般工业技术
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合作作者
顾长志
中国科学院物理研究所
李俊杰
中国科学院物理研究所
崔阿娟
中国科学院物理研究所
刘哲
中国科学院物理研究所
姜倩晴
中国科学院物理研究所
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顾长志
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:金刚石膜 衬底 金刚石 石墨烯 金刚石薄膜
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李俊杰
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 石墨烯 定影 金刚石 抗蚀剂
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崔阿娟
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 离子束辐照 基底 绝缘 图案
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刘哲
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:自支撑 基底 光刻胶 衬底 离子束辐照
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姜倩晴
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:色心 光子 抗蚀剂 单光子源 电子束
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牟佳佳
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:激光直写 亚波长 高通 高空间分辨率 光子
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李家方
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:剪纸 激光直写 等离激元 表面等离子体 聚焦离子束
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郝婷婷
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:半导体场效应晶体管 电极接触 衬底 晶体管器件 金属电极
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金爱子
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:聚焦离子束 反应离子刻蚀 电子束 金属硅化物 离子束
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金凌
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:纳米 衬底 高分辨成像 微流体 扫描电子显微镜
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