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方锋
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北京有色金属研究总院
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电子电信
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合作作者
张果虎
北京有色金属研究总院
常青
北京有色金属研究总院
吴志强
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
秦福
北京有色金属研究总院
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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张果虎
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 直拉硅单晶 硅 氧 硅片
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吴志强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 直拉硅单晶 热屏 单晶炉 大直径
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秦福
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 坩埚 硅 直拉硅单晶 单晶硅
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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郝玉清
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 单晶炉 单晶硅 坩埚 氧
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屠海令
供职机构:国家工程研究中心
研究主题:硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
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程景柏
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:脆性断裂 硅单晶 抗拉强度 晶体生长 缩颈
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王敬
供职机构:清华大学
研究主题:沟道 半导体结构 场效应晶体管 晶体管 栅结构
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万关良
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅单晶 直拉硅单晶 电阻率 氧
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