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庄志伟

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个机械工程
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主题

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机构

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  • 1个北京大学
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资助

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传媒

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  • 2个微细加工技术
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  • 1个光学精密工程
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  • 1个科学通报
  • 1个声学学报
  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报

地区

  • 3个北京市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王喆垚
供职机构：清华大学
研究主题：三维集成电路 辅助圆 圆片 高深宽比 石英谐振器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周有铮
供职机构：清华大学
研究主题：微悬臂梁传感器 检测器件 压阻 压阻式 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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