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史辉琨
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供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
荆海
中国科学院长春光学精密机械与物...
廖燕平
中国科学院长春光学精密机械与物...
高文涛
中国科学院长春光学精密机械与物...
邵喜斌
中国科学院长春光学精密机械与物...
付国柱
中国科学院长春光学精密机械与物...
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高文涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:机械泵 化学气相淀积 多晶硅薄膜晶体管 离子注入机 电控制器
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付国柱
供职机构:北京化工大学
研究主题:多晶硅薄膜 A-SI 多晶硅薄膜晶体管 纳米二氧化钛 多晶硅
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廖燕平
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:A-SI 多晶硅 多晶硅薄膜 TFT 晶核
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荆海
供职机构:北方液晶工程研究开发中心
研究主题:液晶显示器 液晶 液晶器件 测试装置 多晶硅薄膜
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邵喜斌
供职机构:京东方科技集团股份有限公司
研究主题:显示装置 液晶显示器 基板 显示面板 液晶
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