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丁明正
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中国科学院微电子研究所
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电子电信
理学
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
许高博
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
李俊峰
中国科学院微电子研究所
傅剑宇
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
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许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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傅剑宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 刻蚀 硅基 悬臂梁 衬底
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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刘艳松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 晶圆 贴膜 成像 产能
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李琳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:超浅结 靶材 暗电流 分子 修饰
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刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
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张琦辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体器件 热退火 超浅结 氧化物薄膜
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