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蒋文静
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
欧文
中国科学院微电子研究所
周静涛
中国科学院微电子研究所
刘战峰
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
杨成樾
中国科学院微电子研究所
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欧文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:悬臂梁 刻蚀 衬底 红外吸收 硅
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刘战峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 半导体器件 悬臂梁 沟道 刻蚀
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周静涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:肖特基二极管 硅基 钝化层 肖特基 太赫兹
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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黄卓磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:读出电路 二极管 红外探测器 低失调 低噪声
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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田晓丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 IGBT器件 绝缘栅双极晶体管 衬底 场限环
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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