您的位置: 专家智库 > >

肖艳芬

作品数:24 被引量:63H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域:机械工程理学电子电信更多>>

领域

  • 20个电子电信
  • 19个机械工程
  • 17个理学
  • 16个自动化与计算...
  • 8个环境科学与工...
  • 5个生物学
  • 5个一般工业技术
  • 5个文化科学
  • 4个金属学及工艺
  • 4个医药卫生
  • 3个建筑科学
  • 3个核科学技术
  • 2个化学工程
  • 2个交通运输工程
  • 2个政治法律
  • 1个电气工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个农业科学

主题

  • 19个衍射
  • 19个光刻
  • 19个光学
  • 18个光刻机
  • 16个照明
  • 16个透镜
  • 15个衍射光学
  • 15个衍射光学元件
  • 15个照明系统
  • 15个透镜阵列
  • 14个起偏器
  • 13个信号
  • 13个信号处理
  • 13个偏振
  • 12个图像
  • 10个旋光
  • 10个偏振光
  • 9个调制器
  • 9个信号处理系统
  • 8个调控装置

机构

  • 20个中国科学院上...
  • 11个中国科学院研...
  • 10个中国科学院大...
  • 5个中国科学院
  • 1个长春理工大学
  • 1个军事医学科学...
  • 1个中国工程物理...
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 14个国际科技合作...
  • 13个国家科技重大...
  • 11个上海市自然科...
  • 10个国家自然科学...
  • 7个上海市科技人...
  • 5个上海市国际科...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个上海市青年科...
  • 3个上海市科委纳...
  • 2个浙江省公益性...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个上海市科委国...

传媒

  • 18个中国激光
  • 14个光学学报
  • 10个激光与光电子...
  • 9个光子学报
  • 5个仪器仪表学报
  • 5个第十五届全国...
  • 4个物理学报
  • 4个光学仪器
  • 4个上海市激光学...
  • 3个强激光与粒子...
  • 2个分析化学
  • 2个生物技术通讯
  • 2个光学精密工程
  • 2个计量学报
  • 2个科技开发动态
  • 2个微细加工技术
  • 2个信息记录材料
  • 2个2007年中...
  • 2个第十一届全国...
  • 2个上海市激光学...

地区

  • 19个上海市
  • 1个北京市
20 条 记 录,以下是 1-10
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张方
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张佩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:气溶胶粒子 气溶胶 生物气溶胶 重金属 本征
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
聚类工具0