2024年11月23日
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程珊华
作品数:
53
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H指数:12
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苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
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发文基金:
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江苏省自然科学基金
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合作作者
宁兆元
苏州大学理学院物理系
叶超
苏州大学理学院物理系
辛煜
苏州大学理学院物理系
葛水兵
苏州大学物理科学与技术学院能源...
甘肇强
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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宁兆元
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
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叶超
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
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辛煜
供职机构:苏州大学
研究主题:感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
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葛水兵
供职机构:苏州大学
研究主题:脉冲激光沉积 ZNO:AL 透明导电膜 铝 LA
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甘肇强
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:脉冲激光沉积 铁电薄膜 CHF 紫外可见光谱 溶胶-凝胶法制备
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陆新华
供职机构:苏州大学材料与化学化工学部
研究主题:ECR-CVD A-C F 傅里叶变换红外光谱 红外吸收光谱
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黄松
供职机构:苏州大学
研究主题:感应耦合等离子体 CF A-C F ECR-CVD
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康健
供职机构:苏州大学
研究主题:轻量化 散度 氟化非晶碳薄膜 F 变步长
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黄峰
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)物理学系
研究主题:超大规模集成电路 真空退火 光学带隙 A-C:F 微波功率
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许圣华
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)
研究主题:高温热管 氟化非晶碳薄膜 ECR-CVD SIO 余热回收
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