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王希军
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中国科学院长春光学精密机械研究所
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合作作者
曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究...
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曹健林
供职机构:中国科学院长春光学精密机械研究所
研究主题:软X射线 多层膜 软X射线多层膜 表面粗糙度 反射率
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