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梅赫赓

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学轻工技术与工程更多>>

合作作者

领域

  • 10个电子电信
  • 8个金属学及工艺
  • 8个自动化与计算...
  • 8个文化科学
  • 6个机械工程
  • 6个交通运输工程
  • 5个建筑科学
  • 5个轻工技术与工...
  • 5个一般工业技术
  • 5个理学
  • 4个化学工程
  • 4个电气工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个医药卫生
  • 3个自然科学总论
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个石油与天然气...
  • 2个冶金工程
  • 2个航空宇航科学...

主题

  • 11个抛光
  • 11个晶圆
  • 10个抛光液
  • 9个修整器
  • 8个刷洗
  • 7个修整
  • 6个竖直
  • 6个扭矩
  • 5个电路
  • 5个盛装
  • 4个氮化
  • 4个弹性环
  • 4个挡板
  • 4个导轨
  • 4个电机
  • 4个电涡流
  • 3个氮气
  • 3个登录
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅

机构

  • 11个清华大学
  • 2个吉林大学
  • 1个北京工商大学
  • 1个东北大学
  • 1个复旦大学
  • 1个东北工学院
  • 1个东南大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个东北师范大学
  • 1个辽宁大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个上海交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个辽宁石油化工...
  • 1个沈阳工业大学
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国科学院金...

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 5个中国博士后科...
  • 5个国家科技重大...
  • 5个创新研究群体...
  • 5个国家重点实验...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个国家杰出青年...
  • 3个教育部跨世纪...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个山东省自然科...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个北京市教委重...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个上海市科委科...
  • 1个北京市优秀人...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个河南省教育厅...
  • 1个江苏省自然科...

传媒

  • 5个机械工程学报
  • 5个摩擦学学报（...
  • 3个科学通报
  • 3个清华大学学报...
  • 3个中国机械工程
  • 3个华中科技大学...
  • 3个润滑与密封
  • 3个中国表面工程
  • 3个中国基础科学
  • 3个自然科学进展...
  • 2个光学精密工程
  • 2个钢铁
  • 2个金属学报
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个中国科学（A...
  • 2个金属热处理
  • 2个机械强度
  • 2个机械工程材料
  • 2个热加工工艺
  • 2个计算力学学报

地区

  • 11个北京市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张连清
供职机构：清华大学
研究主题：侧板 基板 修整器 机械手 装卸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄雅婷
供职机构：北京工商大学材料与机械工程学院
研究主题：超疏水表面 超疏水 化学机械抛光 晶圆 扭矩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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