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栗坤
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7
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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合作作者
蒋世磊
中国科学院光电技术研究所
魏全忠
中国科学院光电技术研究所
伍凡
中国科学院光电技术研究所
叶红伟
中国科学院光电技术研究所
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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魏全忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学系统 光刻物镜 投影光刻物镜 亚微米 成象
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供职机构
所获资助
研究领域
伍凡
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:干涉仪 面形 光学元件 非球面 球面
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叶红伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工艺技术 膜厚均匀性 镀膜技术 变焦系统 光学系统
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相关人物
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