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13 条 记 录,以下是 1-10
唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈朝阳
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程永生
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵兴海
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:激光诱导损伤 激光点火 激光损伤 ZEMAX 激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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