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唐圣明

作品数：25 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 5个理学
  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 3个电气工程
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个冶金工程
  • 1个建筑科学
  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个文化科学

主题

  • 5个刻蚀
  • 4个微机械
  • 4个微机械器件
  • 3个微电子
  • 3个离子刻蚀
  • 3个反应离子
  • 3个反应离子刻蚀
  • 3个感器
  • 2个铁电
  • 2个铁电材料
  • 2个能谱
  • 2个谱仪
  • 2个离子束
  • 2个离子束刻蚀
  • 2个金属
  • 2个金属镍
  • 2个静电马达
  • 2个半导体
  • 2个半导体器件
  • 2个X射线谱仪

机构

  • 7个中国科学院上...
  • 2个复旦大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个上海医科大学
  • 1个上海第二医科...
  • 1个中国科学院
  • 1个中国医科大学

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个山东省自然科...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 5个电子显微学报
  • 3个功能材料与器...
  • 2个上海有色金属
  • 2个传感技术学报
  • 2个第二届全国扫...
  • 2个第八次全国电...
  • 2个第二届全国扫...
  • 2个第四次全国电...
  • 1个粉末冶金技术
  • 1个中国免疫学杂...
  • 1个科学通报
  • 1个药学学报
  • 1个金属学报
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个中国中药杂志
  • 1个物理
  • 1个植物杂志
  • 1个中成药
  • 1个华东科技
  • 1个强激光与粒子...

地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
陈思琴
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 空间电场 刻蚀 硅传感器 微电子技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩明
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：离子束刻蚀 伺服 硅 微机械器件 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐梅娣
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁阻 刻蚀 磁阻元件 磁性薄膜 磁记录
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊幸果
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 微机械 电容式加速度传感器 硅传感器 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施大文
供职机构：复旦大学药学院
研究主题：八角莲 中药 泽泻 鞣质 肉苁蓉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金大康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：粉末冶金 纳米材料 静电复印 铁氧体 新工业革命
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟传奎
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电热膜 衣架 超细 钝化 炼钢厂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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