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吴嘉丽

作品数：38 被引量：64H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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谭刚
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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李仁锋
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王超
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：热电池 惯性开关 阴极材料 脉冲激光沉积 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈光焱
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 MEMS G值 开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑英彬
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施志贵
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武蕊
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高杨
供职机构：重庆大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐海林
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：太赫兹 微陀螺 微机械陀螺 固有频率 仪器仪表技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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