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刘智辉
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4
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H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
田雷
中国电子科技集团公司第四十九研...
李海博
中国电子科技集团公司第四十九研...
李玉玲
中国电子科技集团公司第四十九研...
尹延昭
中国电子科技集团公司第四十九研...
王永刚
中国电子科技集团公司第四十九研...
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田雷
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:温度 SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温
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王永刚
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:CMOS 加速度传感器 单片 MEMS 微机电系统
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张岩
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿法腐蚀 KOH TMAH 薄膜电阻 流量传感器
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李玉玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:BCB 苯并环丁烯 键合 加速度计 毛细作用
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尚瑛琦
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿法腐蚀 KOH TMAH 加速度 蓝宝石
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李海博
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
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所获资助
研究领域
尹延昭
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温 干法刻蚀
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所获资助
研究领域
王晓光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
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