您的位置： 专家智库 > >

马兴华

作品数：10 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程建筑科学更多>>

合作作者

领域

  • 15个电子电信
  • 13个机械工程
  • 13个自动化与计算...
  • 10个理学
  • 7个环境科学与工...
  • 6个生物学
  • 4个文化科学
  • 3个金属学及工艺
  • 3个交通运输工程
  • 3个一般工业技术
  • 2个建筑科学
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个政治法律
  • 1个化学工程
  • 1个农业科学

主题

  • 16个光刻
  • 15个光刻机
  • 15个光学
  • 13个透镜
  • 12个信号
  • 12个信号处理
  • 12个照明
  • 12个狭缝
  • 12个激光
  • 11个装调
  • 9个照明系统
  • 9个探测器
  • 8个大行程
  • 8个刀片
  • 8个信号处理系统
  • 8个衍射
  • 8个脉冲
  • 6个迭代
  • 6个照明控制
  • 5个调节装置

机构

  • 18个中国科学院上...
  • 6个中国科学院研...
  • 5个中国科学院大...
  • 2个中国科学院
  • 1个军事医学科学...
  • 1个中国工程物理...
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 10个上海市自然科...
  • 8个国家自然科学...
  • 7个国家科技重大...
  • 7个国际科技合作...
  • 5个国家高技术研...
  • 5个上海市国际科...
  • 5个上海市科技人...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个上海市青年科...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个上海市教育委...
  • 1个上海市科委国...
  • 1个上海市浦江人...
  • 1个浙江省公益性...
  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 12个中国激光
  • 10个光学学报
  • 8个光子学报
  • 5个仪器仪表学报
  • 5个激光与光电子...
  • 3个强激光与粒子...
  • 3个光学仪器
  • 3个第十五届全国...
  • 3个上海市激光学...
  • 2个分析化学
  • 2个洁净与空调技...
  • 2个光学精密工程
  • 2个物理学报
  • 2个计量学报
  • 2个科技开发动态
  • 1个生物技术通讯
  • 1个电子测量技术
  • 1个无机材料学报
  • 1个机床与液压
  • 1个激光杂志

地区

  • 18个上海市
共 18 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张友宝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：检漏装置 生物检测 安全数码卡 光纤 信号处理系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张善华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：干涉仪 面形 锥角 图像传感器 移相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱珍梅
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 狭缝 大口径透镜 步进 大行程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯莉颖
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 处理电路 测试系统 标定方法 和光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨增辉
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 边界面 包边工艺 包边 防撞装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0