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陈铭勇
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55
被引量:45
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
李艳丽
中国科学院光电技术研究所
严伟
中国科学院光电技术研究所
朱江平
电子科技大学光电信息学院
王建
中国科学院光电技术研究所
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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李艳丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
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严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
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唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
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朱江平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
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何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
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杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
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杜惊雷
供职机构:四川大学
研究主题:光刻 干涉光刻 手性 光学邻近校正 DMD
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