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陈铭勇

作品数:55 被引量:45H指数:4
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 40个机械工程
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主题

  • 43个光刻
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  • 33个光学
  • 32个衍射
  • 32个图像
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  • 26个条纹
  • 26个光束
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  • 18个信号
  • 15个电路

机构

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  • 1个西安工业学院
  • 1个中国科学院上...

资助

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传媒

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  • 25个微纳电子技术
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  • 5个光电子.激光
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  • 5个激光技术
  • 5个现代电子技术

地区

  • 39个四川省
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  • 1个北京市
  • 1个陕西省
  • 1个上海市
  • 1个重庆市
  • 1个广东省
45 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影光刻 工件台 叠栅条纹 调焦 放大系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何渝
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜惊雷
供职机构:四川大学
研究主题:光刻 干涉光刻 手性 光学邻近校正 DMD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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