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陈磊

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学理学更多>>

合作作者

领域

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机构

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地区

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共 22 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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马平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 样片 纳米光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王建
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱咸昌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐文祥
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 投影光刻机 掩模 光束 动镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡淘
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 投影光刻机 步进 掩模板 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢薇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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