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陈倩文
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供职机构:
北京理工大学
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合作作者
丁英涛
北京理工大学
高巍
北京理工大学
王士伟
北京理工大学
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高巍
供职机构:北京理工大学
研究主题:垂直互连 垂直深孔 差分 压缩采样 绝缘层
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丁英涛
供职机构:北京理工大学
研究主题:微管道 微电子机械系统 MEMS 垂直互连 绝缘层
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王士伟
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:硅 低阻 TSV 三维集成电路 铜
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