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葛劢冲
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19
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H指数:5
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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电子电信
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合作作者
童志义
中国电子科技集团公司第四十五研...
赵晓东
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘玄博
中国电子科技集团公司第四十五研...
刘卫平
中国电子科技集团公司第四十五研...
孟晓华
中国电子科技集团公司第四十五研...
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童志义
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光学光刻 集成电路 光刻 硅 CMP
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孟晓华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:丝网印刷技术
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刘卫平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:超高压汞灯 传感器 积分 恒功率控制 功率
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赵晓东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:绝缘体上硅 晶圆级封装 微光电子机械系统 微电子机械系统
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所获资助
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刘玄博
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:光刻机 直流伺服电机 控制系统 运动控制 宽禁带半导体
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