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苏祥林

作品数:6 被引量:20H指数:2
供职机构:西安电子科技大学更多>>
发文基金:电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

领域

  • 5个电子电信
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  • 1个电气工程
  • 1个医药卫生
  • 1个自然科学总论

主题

  • 5个电子回旋共振
  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个低K材料
  • 4个低介电常数
  • 4个电子能
  • 4个电子能谱
  • 3个氮化
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  • 3个氮化硅薄膜
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  • 3个等离子体诊断
  • 3个低K介质
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  • 3个电场强度
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机构

  • 5个西安电子科技...
  • 1个电子科技大学
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  • 1个西安交通大学
  • 1个湘潭大学
  • 1个教育部
  • 1个西北电讯工程...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个电子元器件可...
  • 3个国防科技技术...
  • 3个国家部委预研...
  • 3个国家重点实验...
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  • 1个国家杰出青年...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个中央级公益性...
  • 1个高等学校学科...

传媒

  • 4个半导体技术
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  • 4个微纳电子技术
  • 3个物理学报
  • 3个功能材料
  • 3个真空科学与技...
  • 3个功能材料与器...
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  • 3个真空科学与技...
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  • 2个中国激光
  • 2个光学学报
  • 2个光子学报
  • 1个光电子.激光
  • 1个光学精密工程

地区

  • 5个陕西省
5 条 记 录,以下是 1-5
杨银堂
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:硅 片上网络 电路 CMOS 低功耗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴振宇
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:电子回旋共振 铜互连 A-C:F 电迁移 ECR-CVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪家友
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:电子回旋共振 A-C:F 淀积 ECR-CVD 化学气相淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋昱
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:低介电常数 电子回旋共振 热稳定性研究 热稳定性 层间介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖斌
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:DRAM 介质材料 动态随机存储器 钛酸锶钡 电容
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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