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武爱民
作品数:
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
王曦
中国科学院研究生院
甘甫烷
中国科学院上海微系统与信息技术...
仇超
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈静
中国科学院上海微系统与信息技术...
盛振
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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甘甫烷
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 硅基 光子晶体 干涉仪 硅波导
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陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 阈值电压 SOI 存储器单元
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仇超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 模式转换器 输出波导 干涉仪 激光照射
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盛振
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:波导 硅基 干涉仪 激光照射 模式转换器
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李伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底
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魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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杨志峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光子晶体 晶格 SOI 硅刻蚀 各向异性腐蚀
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孙佳胤
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:氮化镓 SOI 衬底材料 衬底 绝缘体上硅
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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