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杨立新
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6
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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
陈长清
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陈学良
中国科学院上海冶金研究所上海微...
卢志红
中国科学院上海冶金研究所上海微...
杨易
中国科学院上海冶金研究所上海微...
沈德芳
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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陈长清
供职机构:中国科学院上海冶金研究所
研究主题:碳化硅 PECVD 硅 Β-SIC 晶态
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陈学良
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:掺杂 双极型 硅 SI 集成电感
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卢志红
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:FE 巨磁电阻效应 自旋阀 矫顽力 交换耦合
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杨易
供职机构:浙江大学
研究主题:单片集成 解释性 INP 波分复用 学生用户
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沈德芳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:磁光 磁光记录 X 磁光薄膜 合金薄膜
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陈国明
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:反应离子束刻蚀 测量电路 航天 勘测 金属电极
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任琮欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
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柳襄怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
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严金龙
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SI 反应离子刻蚀 ISOLATION 硅 SILICON
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严金龙
供职机构:中国科学院
研究主题:硅 Β-SIC 埋层 碳化硅
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