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史月增
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14
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
张丽
中国电子科技集团公司第四十六研...
程红娟
中国电子科技集团公司第四十六研...
齐海涛
中国电子科技集团公司第四十六研...
徐永宽
中国电子科技集团公司第四十六研...
金雷
中国电子科技集团公司第四十六研...
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张丽
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:ALN PVT 氮化铝 籽晶 生长速率
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程红娟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:单晶 晶体 HVPE 氮化镓 DAST
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齐海涛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:籽晶 PVT ALN 碳化硅 单晶
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金雷
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:籽晶 PVT ALN 碳化硅 衬底温度
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徐永宽
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氮化镓 氢化物气相外延 DAST
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李晖
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 表面粗糙度 碳化硅 晶片
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郝建民
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:碳化硅 SIC 籽晶 PVT V
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刘金鑫
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:碳化硅 CVD TAC涂层 高温化学 气相沉积法
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张嵩
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:HVPE GAN 氢化物气相外延 氮化镓 GAAS衬底
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徐所成
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:X射线双晶衍射 氮化镓 厚层 氢化物 气相外延
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