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孙伟志

作品数：3 被引量：18H指数：2
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
相关领域：金属学及工艺动力工程及工程热物理机械工程更多>>

合作作者

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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题：化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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