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邢少川

作品数：3 被引量：15H指数：2
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家科技重大专项河北省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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