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李建军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

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合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：MEMS MEMS开关 ICP 工艺参数 刻蚀
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